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首页 > 产品中心> 半导体行业> MOCVD AMHS 自动化晶圆输送机平台FST-CP-AMHS-100(MO)

MOCVD AMHS 智能晶圆输送系统FST-CP-AMHS-100(MO)

实现LED半导体工厂核心工艺设备MOCVD的晶圆倒片及晶圆传输的智能化自动物料搬送系统。由如下设备和子系统组成:MOCVD晶圆倒片机,配置了防尘货架的AGV,存储石墨盘的电子货架,和与MOCVD对接实现上下片功能的周转单元。
的设备因素
类别内容
设备节拍(上片或下片)425pcs/h
产品良率
≥99.9%
设备精度晶圆片上下片重复定位精度 可达到±0.05mm,±0.1度以内
MO倒片机尺寸L4.5m*W2.6m*H2.4m
周转单元尺寸L2.7m*W1.85m*H2.4m
AGV尺寸根据具体功能定制
电子货架尺寸根据具体功能定制


机器设备优劣势

全自动:AGV运载石墨盘根据调度系统指令自动在电子货架、MO倒片机,周转单元对接;

电子货架存储石墨盘且与中控系统实时通讯监控石墨盘状态;

MO倒片机实现自动上下石墨盘,Pocket自动清洁,晶圆mapping、晶圆寻边、Wafer ID读取、自动上片、可反流程实现自动下片,Wafer ID与盘SN绑定LINK后上传至MES;

周转单元与MO设备无缝对接,实现自动上下石墨盘,收集MO腔体状态信息于中控系统通讯;

高配置:CCD自动检测、著名品牌工业机器人、全过程伺服控制系统、全过程智能检测以及智能化操作系统等

人性化:成熟先进的自动控制技术,增加智能监控,智能语音提醒,既满足工业生产也兼顾人因工程

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