Product Center
产品中心
九游老哥 > 产品中心> 半导体行业> PVD晶圆系统自动倒片机FST-SC200W

PVD晶圆自动倒片机FST-SC200W

应用于LED半导体外延工艺段,可实现晶圆从原料仓至PVD工序之间以及PVD工序到MOCVD工序之间的周转。主要由Foup交替上料区、Cassette立体仓储、机器人取放盘机构、机器人自动上下片组成。
设配参数设置
类别内容
设备节拍
288pcs/h
产品良率≧99.5%
设备精度晶圆片上下片重复定位精度可达到±0.1mm,±0.15度以内
设备尺寸L2.8m*W1.5m**H2.45m


机器设备其优势

使用场景:外延段PVD工艺生产前后

全自动:自动上盘、盘寻边、晶圆mapping、晶圆寻边、Wafer ID读取、自动上片、同步实现自动下片、Wafer ID与盘SN绑定LINK后上传至MES

高配置:CCD自动检测、著名品牌工业机器人、全过程伺服控制系统、全过程智能检测以及智能化操作系统等

高精度:晶圆片上下片重复定位精度可达到±0.1mm,±0.15度以内

人性化:成熟先进的自动控制技术,增加智能监控,智能语音提醒,既满足工业生产也兼顾人因工程

网络下方留言
  • 企业名称:
  • 企业所属类型:
  • 姓名:
  • 职务:
  • 电话:
  • 邮箱:
  • 详细需求描述:
    *了解更多我司产品,请填写内容,如果有合作机会,我们会在48小时内主动与您取得联系,谢谢!
验证码:
格力中央空调 | 小区管道清洗机 | 天津市建筑装饰 | 江西建材有限公司 | 钢格板 | 东莞智能机械有限公司 | 镍网 | 安徽新材料有限公司 | 黑龙江省医药有限公司 | 佛山篮球架 | 温州电器股份有限公司 |