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PSS晶圆自动下片机FST-SC100P-D

应用于PSS段ICP工艺生产后,实现PSS下片及解螺丝等功能。主要由铝盘立体仓储、cassette立体仓储、OCR读取、机器人自动下片、机器人自动解螺丝组成。
装备参数值
类别内容
设备节拍
1600盘/天
产品良率≧99.5%
设备精度晶圆片上下片重复定位精度可达到±0.15mm,±0.2度以内
设备尺寸L3.2m*W2.8m**H2.45m



产品特点

使用场景:PSS段ICP工艺生产后。

全自动:高度智能信息化系统可实现盘自动上料、盘寻边、晶圆mapping、晶圆寻边、Wafer ID读取、自动下片、自动拆螺丝、自动下盘、Wafer ID与盘SN绑定LINK后上传至MES。

高配置:CCD自动检测、著名品牌工业机器人、全过程伺服控制系统、全过程智能检测系统。

高精度:晶圆片上下片重复定位精度可达到±0.15mm,±0.2度以内。

人性化:成熟先进的自动控制技术,增加智能监控,智能语音提醒,既满足工业生产也兼顾人因工程。

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